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微機電系統(tǒng)工程以機、電技術(shù)，尤其是微機械為基礎(chǔ)，運用微電子技術(shù)和微加工技術(shù)，進行微納米和微機電系統(tǒng)內(nèi)的一系列微型器件的設(shè)計、制造及測試等。例如：微泵、微傳感器、微加速度計、小飛機、小衛(wèi)星和微米衛(wèi)星等。 關(guān)鍵詞：微傳感器微馬達微型器件電路
《微機電工程材料》、《微機電器件與系統(tǒng)》、《微機械學(xué)》、《微納米測量與測試技術(shù)》、《微細加工技術(shù)》、《現(xiàn)代傳感技術(shù)》、《精密工程制造基礎(chǔ)和光存儲技術(shù)》
中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)
北京大學(xué)
南京大學(xué)
北京航空航天大學(xué)
哈爾濱工業(yè)大學(xué)
西安電子科技大學(xué)
河北師范大學(xué)
成都理工大學(xué)
山東大學(xué)（威海）